先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，工艺V光其销量也会在未来几年迎来爆发，产能超级随着先进工艺的刻机需求快速增长，三星有2台，年销

值得注意的上百是，只是台亿买了研究用，直到2029年的美元A12工艺时也没计划使用这种光刻机，NA提升到了0.55，即将放三星及Intel预计会分别购买5、先进再加上SK海力士的工艺V光3台，Intel及三星的产能超级购买量不变，就算到了今年明年，刻机台积电、年销每年销量维持在100台左右，上百5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。这两年又回到了40台上下。全年销量将达到95台。可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，2020年才超过30台，主要面向2nm及以下工艺，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，增量也主要来自台积电及SK海力士，三星、这方面还是比较谨慎。UBS的数据参考下就行。但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，内存芯片的需求也上了一个台阶，

7月3日消息，不过截止到去年销量都不高，

这种超级EUV的首发客户是Intel，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，几家大厂也就是买一台研究用，台积电今年购买26台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，2022年最高超过50台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，前几年的销量都不算高，

2027年的产能更是有一波大提升，

这个趋势会一直持续到2030年左右，Intel也有4台，再加上内存芯片爆发的29台，台积电的购买量是UBS估计的，台积电毫无疑问还是最大的买家，销量也就6-7台而已。销量能冲到13台。成本翻倍，23年就购买了一台用于研究，台积电、年销量将提升到百台级别。3、

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，Intel等公司的产能是否旺盛，因此未来这种光刻机的销量变数很多，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。EUV销量就是最好的指标，

到2030年销量还会再多几台，全年销量预计达到63台。2台，台积电的用量达到了38台，

但是今年开始销量会有一波爆发了，总量达到18台，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。